JST KALFLUO 8520 è un tipo di materiale FFKM appositamente polimerizzato per applicazioni ad altissime prestazioni, con elevata purezza, buona resistenza chimica e proprietà di stabilità al calore. Viene utilizzato principalmente per applicazioni di produzione di semiconduttori , che è un materiale di tenuta ideale per la maggior parte dei processi di semiconduttori a secco ( incisione al plasma , PECVD, LPCVD, CVD metallo, PVD, ALD, pulizia al plasma) e a umido (pulizia dei wafer, rimozione dei polimeri, incisione a umido, lucidatura).

È adatto per applicazioni a temperature comprese tra –10°C e 300°C.

Proprietà fisiche del KALFLUO 8520:

Proprietà di resistenza ai fluidi del KALFLUO 8520:

Rilevamento di elementi metallici (immersione in solvente) di Kalfluo 8520:

Rilevamento della precipitazione di elementi metallici in acqua UPDI da 18 M Ω a 80 ℃ per 720 ore, parti per miliardo (ppb, ug/L) ICP-MS-MS)

Risultato del test:

Osservazioni: 1- Valore limite di rilevamento: 1ppb; 2- ND=Non rilevato.