Con l'avanzare della produzione di semiconduttori verso processi più sofisticati, gli ambienti operativi sono diventati estremamente esigenti: alte temperature, plasmi aggressivi, gas chimici corrosivi e rigorosi requisiti di purezza pongono sfide quasi crudeli ai materiali di tenuta. JST ha lanciato la serie Kalfluo® di soluzioni di tenuta in perfluoroelastomero (FFKM) , dedicato a soddisfare gli standard di elevate prestazioni e alta affidabilità esclusivi dei principali marchi internazionali.

Perché FFKM è la scelta inevitabile per Sigillatura dei semiconduttori ?

L'FFKM rappresenta il livello di prestazioni più elevato tra i materiali elastomerici. La sua struttura molecolare completamente fluorurata gli conferisce proprietà ineguagliabili:

• Resistenza chimica eccezionale: resiste a quasi tutti i mezzi chimici, compresi acidi forti, alcali, solventi e varie sostanze polari, offrendo prestazioni eccezionali nei processi di incisione a umido e di pulizia.
• Eccezionale resistenza alle alte temperature: la nostra serie Kalfluo® funziona efficacemente da -10°C a 300°C. Ad esempio, il nostro grado 8520 mantiene le prestazioni di tenuta anche in caso di esposizione prolungata in ambienti ad altissima temperatura come forni LPCVD ed epitassiali.
• Ridotto degassamento ed emissioni: riduce al minimo le emissioni volatili in condizioni di vuoto ad alta temperatura, prevenendo la contaminazione della camera di processo e salvaguardando la purezza della deposizione di film sottili e della manipolazione dei wafer.
• Resistenza superiore all'erosione al plasma: resiste efficacemente al bombardamento al plasma in processi come l'incisione a secco e la PECVD, riducendo i problemi superficiali come polvere, tracciatura e crepe per una maggiore durata.
• Bassa deformazione permanente: mantiene un'eccellente elasticità e recupero anche in condizioni di calore e pressione prolungati, garantendo una tenuta durevole e stabile.

Guarnizioni JST fornisce non solo standard Guarnizioni FFKM ma anche un supporto completo, dalla selezione dei materiali, alla progettazione strutturale e alla simulazione FEA, fino alla produzione in camere bianche di Classe 10000. Garantiamo che ogni prodotto soddisfi le estreme esigenze di affidabilità e pulizia del settore dei semiconduttori.