La gomma perfluoroetere (FFKM) è un materiale di tenuta ad alte prestazioni, le cui eccellenti prestazioni hanno portato alla sua applicazione nell'intero sistema di produzione di prodotti a semiconduttore. La guarnizione FFKM è uno dei principali materiali di consumo richiesti per la produzione di circuiti integrati.

Principali caratteristiche prestazionali di FFKM:

1) Proprietà fisiche

FFKM ha una densità di 1,9-2,0 g/cm³, le sue proprietà fisiche e meccaniche sono simili a quelle della gomma fluorurata e la sua resistenza al compression set ad alta temperatura è superiore a quella della gomma fluorurata.

2) Resistenza chimica

Simile al PTFE, l'FFKM non è influenzato da alcun mezzo tranne alcuni solventi ad alto fluorocarburo ed è resistente a più di 1600 solventi chimici come acidi forti, basi forti, solventi organici, vapore ad altissima temperatura, eteri, chetoni, esteri, azoto composti, carburi di idrogeno, alcoli, aldeidi, furani e composti amminici.

3) È resistente alle alte e basse temperature e la sua temperatura operativa è generalmente di 260 ~ 290 ℃. Può essere utilizzato in modo intermittente per temperature elevate di 316 ℃.

4) Resistenza al vapore ad alta temperatura

5) Scarso rilascio e precipitazione

6) Resistenza al plasma, che presenta caratteristiche di elevata pulizia e bassa precipitazione in un ambiente al plasma e può resistere a lungo all'impatto del plasma.

Applicazioni a semiconduttore di FFKM

Nella produzione di semiconduttori, l'affidabilità delle guarnizioni elastomeriche è fondamentale e il costo di sostituzione delle guarnizioni quando la produzione viene interrotta è estremamente elevato. Per evitare potenziali rischi, i requisiti di pulizia e purezza delle guarnizioni sono molto severi. Allo stesso tempo, le guarnizioni devono essere in grado di lavorare sotto la pressione di alto vuoto e gas chimici corrosivi e in ambienti ad alta temperatura per lungo tempo.

L'FFKM è una materia prima costosa e viene spesso utilizzata per requisiti di tenuta impegnativi che altre gomme non possono soddisfare, come la produzione di semiconduttori. FFKM è resistente alla corrosione da plasma, corrosione da gas, corrosione da acidi e alcali, corrosione ad alta temperatura ed elevati requisiti di pulizia per le guarnizioni in gomma , contribuendo a mantenere l'integrità della tenuta, ridurre i tempi di manutenzione e migliorare la sicurezza. È il miglior materiale di tenuta per la produzione di semiconduttori.