Nel mondo esigente della fabbricazione dei semiconduttori, dove purezza e precisione non sono negoziabili, ogni componente è importante, soprattutto soluzioni di sigillatura . Questo è dove Perfluoroelastomeri (FFKM) distinguersi come campione indiscusso.

La produzione di semiconduttori comporta condizioni estreme: ambienti aggressivi al plasma, temperature elevate (spesso superiori a 300 °C) ed esposizione a sostanze chimiche e agenti corrosivi potenti. Gli elastomeri standard come FKM (Viton®) o silicone possono degradarsi, causando la generazione di particelle, la contaminazione degli utensili e costosi tempi di fermo macchina non pianificati.

FFKM offre una serie unica di proprietà che affrontano direttamente queste sfide:

Resistenza chimica eccezionale: La sua struttura completamente fluorurata garantisce una resistenza pressoché universale alle sostanze chimiche di processo aggressive, al plasma e agli agenti di pulizia aggressivi come O₃, HF e soluzioni SC-1/SC-2.

Purezza ultra elevata: I componenti FFKM presentano livelli estremamente bassi di metalli estraibili e impurità ioniche, impedendo la contaminazione che può rovinare i wafer sensibili.

Stabilità termica superiore: Mantiene l'elasticità e la forza di tenuta anche a temperature elevate e costanti, mentre altri elastomeri si indurirebbero e si romperebbero.

Eccellente resistenza al plasma: Fondamentale per le camere di incisione e deposizione, l'FFKM resiste all'erosione e alla "polveratura" causate dall'esposizione diretta al plasma, riducendo al minimo la generazione di particelle.

Applicazioni chiave nella Fab:

CMP (Planarizzazione Chimico-Meccanica): Guarnizioni e membrane per la gestione di fanghi abrasivi.

Camere di incisione e CVD (deposizione chimica da vapore): O-ring, guarnizioni e tenute essenziali nei moduli di processo wafer.

Manipolazione dei wafer: Guarnizioni in robot, blocchi di carico e moduli di trasferimento.

Lavorazione a umido: Guarnizioni per vasche e linee che trasportano acidi e solventi ultrapuri.

Sebbene l'FFKM rappresenti un investimento iniziale più elevato, il suo valore è evidente: massimizza i tempi di attività degli utensili, protegge la resa e garantisce l'integrità del processo. In un settore guidato da nodi sempre più piccoli e da controlli di contaminazione più rigorosi, l'FFKM non è solo un materiale: è un fattore essenziale per la produzione avanzata di semiconduttori.